Manyleb
Mae Targed Tiwbiau Titaniwm yn ffurf silindrog o ddeunydd titaniwm a ddefnyddir yn bennaf mewn prosesau chwistrellu a dyddodiad ffilm tenau. Yn debyg i Dargedau Plât Titaniwm, maent yn darged ar gyfer dyddodi ffilmiau titaniwm ar swbstradau amrywiol, ond mae eu siâp tiwbaidd yn eu gwneud yn addas ar gyfer cymwysiadau penodol lle mae angen targedau silindrog ar gyfer sbwteri neu orchudd mwy effeithlon.
Mae Targed Tiwbiau Titaniwm yn silindr titaniwm purdeb uchel neu diwb gwag, wedi'i beiriannu i wasanaethu fel y deunydd ffynhonnell traul mewn ffurf arbenigol o sputtering magnetron, proses Dyddodiad Anwedd Corfforol (PVD). Ei swyddogaeth yw cael ei erydu'n unffurf gan belediad ïon fel y gall ei atomau ffurfio gorchudd tenau, cyson ar swbstrad.
Manyleb
Graddau Cyffredin
Yn fasnachol Titaniwm Pur (ASTM B338 Gr1 neu Gr2), Titanium-6Aluminum-4Vanadium (ASTM B338 Gr5 / Ti-6Al-4V).
Purdeb
Ar gyfer Gr1/Gr2, mae cynnwys titaniwm fel arfer yn Fwy na neu'n hafal i 99.5%. Ar gyfer aloion, mae cyfansoddiad yn cydymffurfio â safonau ASTM.
Rheoli Amhuredd
Rheolaeth lem dros elfennau interstitial megis Ocsigen (O), Nitrogen (N), Carbon (C), a Hydrogen (H) i sicrhau perfformiad.
Dimensiynau Corfforol a Goddefiannau
Diamedr Allanol (OD)
Amrediad cyffredin y gellir ei addasu o 50mm i 200mm.
Diamedr Mewnol (ID)
Wedi'i bennu gan OD a thrwch wal.
Trwch Wal
Yn nodweddiadol rhwng 3mm a 15mm, yn dibynnu ar y cais a'r diamedr.
Hyd
Hyd safonol, addasadwy hyd at 3000mm.
Goddefiannau Dimensiynol
| OD Goddefiad | ±0.5 mm |
| Goddefgarwch Trwch Wal | ±5% i ±10% |
| Syth | < 1.0 mm per meter |
| Perpendicwlar Wynebau Terfynol | Wedi'i nodi yn ôl yr angen. |
Priodweddau Metelegol a Mecanyddol
Dwysedd
Mwy na neu'n hafal i 98.5% o ddwysedd damcaniaethol.
Microstrwythur
Graen-graenus, unffurf, ac yn rhydd o ddiffygion fel mandylledd, craciau a chynhwysiant.
Maint Grawn
Fel arfer ASTM 6.0 neu finach.
Ansawdd Arwyneb
Ansawdd Arwyneb
Gorffen Arwyneb
Wedi'i beiriannu i arwyneb llyfn, fel arfer gyda garwder (Ra) o Llai na neu'n hafal i 1.6 µm neu well.
Cyflwr
Yn lân, yn sych, ac yn rhydd o olewau, saim, ocsidau a halogion eraill. Yn aml yn cael ei gyflenwi â gorchudd amddiffynnol neu wactod wedi'i bacio.
Proses Saernïo
Wedi'i weithgynhyrchu o fariau wedi'u rholio'n ffug neu'n boeth, wedi'u dilyn gan beiriannu manwl gywir, drilio a mireinio i gyflawni dimensiynau terfynol a gorffeniad arwyneb.
Wedi'i anelio'n llawn i leddfu straen mewnol.
Mantais allweddol
Defnydd uwch o ddeunydd:Y prif yrrwr economaidd. Defnyddir mwy o'r titaniwm drud cyn bod yn rhaid disodli'r targed.
Oes weithredol hirach:Llai o amser segur ar gyfer newidiadau targed.
Plasma Mwy Sefydlog a Chyfradd Dyddodiad:Yn arwain at ansawdd ffilm mwy cyson dros rediadau cynhyrchu hir.
Gwell ar gyfer Cymwysiadau Pŵer Uchel-:Mae'r siâp silindrog a'r cylchdro yn hwyluso oeri mwy effeithiol.
Cais
Targedau tiwb titaniwm yn cael eu ffafrio mewn diwydiannau sydd angen gorchuddio-maint uchel, unffurf, a chost-effeithlon.
Gwydr Pensaernïol a Modurol:Adneuo titaniwm fel haen adlyniad ar gyfer haenau arian neu nitrid dilynol mewn gwydr -effeithlon isel-E (allyrru isel-).
Electroneg a Phecynnu Hyblyg:Gorchuddio gweoedd polymer ar gyfer celloedd solar, ffilmiau dargludol tryloyw, a phecynnu bwyd/meddygol rhwystr uchel.
Gorchudd Gwe:Gorchuddio rholiau o ddeunydd yn barhaus at ddibenion addurniadol, swyddogaethol neu optegol.
Arddangosfeydd Panel Fflat Ardal Fawr -:Ar gyfer haenau ar deledu, monitor, a phaneli sgrin gyffwrdd.
Offer diwydiannol:Gosod haenau titaniwm nitrid (TiN) sy'n gwrthsefyll traul ar sypiau o offer neu gydrannau.
Tagiau poblogaidd: targed tiwb titaniwm, gweithgynhyrchwyr targed tiwb titaniwm Tsieina, cyflenwyr, ffatri

